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发布时间:2022-04-20 11:16:57
得用反转磁控溅射刻蚀模块进行的实验工作的结果如图7所示。薄的铁膜层利用EB-PVD沉积在热浸镀锌钢板上。接下来,应用一次加热后处理促使铁锌之间的如前面章节所述的相互扩散和合金形成。如果没有PVD镀膜前的等离子体清洗的话,铁锌间的相互扩散就会受到带表面的薄而致密的氧化层的强烈影响,尽管仍然进行热退火处理,但已经形成了分隔的膜层。在镀膜工艺前用中频电源进行等离子体清洗且除此之外一切条件和上面相同的条件下,将会发现有非常不同的情形。氧化层几乎完全去除,同时通过铁扩散到热浸锌膜层从而形成一层合金膜。
在真空区段,实现了两种不同的PVD工艺:来自完全密封的辐射加热石黑坩埚的用于低熔点材料如锌或镁等的调整蒸发的JET-PVD镀膜。用两个100KW电子从水冷铜坩埚中调整蒸发高熔点材料如铁、镍和钛以及金属化合物、无机化合物(如二氧化硅)等的EB-PVD镀膜。运行的结果从已经得到广泛试验的JET-PVD和等离子清洗工艺获得。在本文的余下部分将相当详细在描述这些结果,包括实际工艺试验程序的结果。
5.燃***物品要妥善保管,以防毒。6.酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。8.工作完毕应断电、断水。真空***镀钛加工服务加工是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用真空镀膜设备气体放电使钛板蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。
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